Photolithography is 'n proses wat in mikrovervaardiging gebruik word om meetkundige patrone na 'n film of substraat oor te dra. Geometriese vorms en patrone op 'n halfgeleier vorm die komplekse strukture wat die doteermiddels, elektriese eienskappe en drade toelaat om 'n stroombaan te voltooi en 'n tegnologiese doel te vervul.
Wat is die fotolitografie-proses?
Photolithography, ook genoem optiese litografie of UV-litografie, is 'n proses wat in mikrovervaardiging gebruik word om dele op 'n dun film of die grootste deel van 'n substraat (ook 'n wafer genoem) te patroon.. … In komplekse geïntegreerde stroombane kan 'n CMOS-wafer soveel as 50 keer deur die fotolitografiese siklus gaan.
Wat is die mikrovervaardigingsproses?
Mikrovervaardiging is die proses van die vervaardiging van miniatuurstrukture van mikrometerskale en kleiner. … Die belangrikste konsepte en beginsels van mikrovervaardiging is mikrolitografie, doping, dun films, ets, binding en polering.
Wat is litografieproses in halfgeleiers?
'n Halfgeleierlitografiestelsel onderneem 'n proses waardeur hoogs komplekse stroombaanpatrone geteken op 'n fotomasker wat van 'n groot glasplaat gemaak is, verminder word deur ultrahoëprestasie-lense te gebruik en op 'n silikonsubstraat bekend as blootgestel word.'n wafel. …
Wat is litografie in die vervaardigingsproses?
Litografie isdie proses om patrone van geometriese vorms in 'n masker oor te dra na 'n dun laag stralingsensitiewe materiaal (genoem weerstand) wat die oppervlak van 'n halfgeleierwafel bedek. Figuur 5.1 illustreer skematies die litografiese proses wat in IC-vervaardiging gebruik word.
