Photolithography word algemeen gebruik om rekenaarskyfies te vervaardig. Wanneer rekenaarskyfies vervaardig word, is die substraatmateriaal 'n weerstandbedekte silikonplaat. Hierdie proses laat toe dat honderde skyfies gelyktydig op 'n enkele silikonwafel gebou word.
Hoe word fotolitografie gedoen?
Photolithography gebruik drie basiese prosesstappe om 'n patroon van 'n masker na 'n wafer oor te dra: coat, develop, expose. Die patroon word tydens 'n daaropvolgende proses na die wafer se oppervlaklaag oorgedra. In sommige gevalle kan die weerstandpatroon ook gebruik word om die patroon vir 'n afgesette dun film te definieer.
Waarom word dit fotolitografie genoem?
Semiconductor Lithography (Photolithography) - The Basic Process . Die vervaardiging van 'n geïntegreerde stroombaan (IC) vereis 'n verskeidenheid fisiese en chemiese prosesse wat uitgevoer word op 'n halfgeleier (bv. silikon) substraat. … Die woord litografie kom van die Griekse lithos, wat klippe beteken, en graphia, wat beteken om te skryf.
Waarom is litografie belangrik?
Litografie is die proses om patrone van geometriese vorms in 'n masker oor te dra na 'n dun laag stralingsensitiewe materiaal (genoem weerstand) wat die oppervlak van 'n halfgeleierwafel bedek. Figuur 5.1 illustreer skematies die litografiese proses wat in IC-vervaardiging gebruik word.
Watter is die mees gebruikte metode in litografiese metodes?
Optieslitografie is 'n fotongebaseerde tegniek wat bestaan uit die projektering van 'n beeld in 'n fotosensitiewe emulsie (fotoresist) wat op 'n substraat soos 'n silikonwafel bedek is. Dit is die litografieproses wat die meeste gebruik word in die hoëvolume-vervaardiging van nano-elektronika deur die halfgeleierbedryf.
