In die geval van halfgeleierlitografie (ook genoem fotolitografie) is ons klippe silikon wafers en ons patrone is geskryf met 'n ligsensitiewe polimeer wat 'n fotoweerstand genoem word.
Wat bedoel jy met fotolitografie?
Photolithography, ook genoem optiese litografie of UV-litografie, is 'n proses wat in mikrovervaardiging gebruik word om dele op 'n dun film of die grootste deel van 'n substraat te patroon (ook genoem 'n wafer). … Hierdie metode kan uiters klein patrone skep, tot 'n paar tientalle nanometer groot.
Waarom word litografie in halfgeleiervervaardiging gebruik?
Fotolitografie is 'n proses wat in mikrovervaardiging gebruik word om geometriese patrone na 'n film of substraat oor te dra. Geometriese vorms en patrone op 'n halfgeleier vorm die komplekse strukture wat die doteermiddels, elektriese eienskappe en drade toelaat om 'n stroombaan te voltooi en 'n tegnologiese doel te vervul.
Wat is die doel van fotolitografie?
Fotolitografie is een van die belangrikste en maklikste metodes van mikrovervaardiging, en word gebruik om gedetailleerde patrone in 'n materiaal te skep. In hierdie metode kan 'n vorm of patroon geëts word deur selektiewe blootstelling van 'n ligsensitiewe polimeer aan ultraviolet lig.
Wat is halfgeleierlitografie-toerusting?
Halfgeleierlitografietoerusting word gebruik in die blootstellingsfase van die halfgeleierskyfievervaardigingsproses. … Halfgeleierlitografietoerusting gebruik 'n projeksielens om die stroombaanpatroon, wat geskryf is op 'n oorspronklike plaat wat 'n dradendraad genoem word, te verminder en die patroon op 'n wafer bloot te stel.
